質(zhì)量流量控制器,Linetech質(zhì)量流量計廣泛應用于:真空鍍膜設備、光電產(chǎn)業(yè)到工業(yè)工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射臺、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入，直拉式晶爐，精密半導體、燃料電池、氣調(diào)儲存保鮮相關(guān)設備、生物反應器、生物過程控制器、大學實驗室、研究所、食品及制藥產(chǎn)業(yè)、醫(yī)療設備、氣相色譜儀等相關(guān)行業(yè)。

更新時間：2024-10-15

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Linetech質(zhì)量流量計廣泛應用于:真空鍍膜設備、光電產(chǎn)業(yè)到工業(yè)工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射臺、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入，直拉式晶爐，精密半導體、燃料電池、氣調(diào)儲存保鮮相關(guān)設備、生物反應器、生物過程控制器、大學實驗室、研究所、食品及制藥產(chǎn)業(yè)、醫(yī)療設備、氣相色譜儀等相關(guān)行業(yè)。

Linetech質(zhì)量流量計主要參數(shù)：

流量范圍	0.005-1000(slpm)
響應時間	≤2
精度	≤1%或0.2%
重復性	±0.25
輸出信號	0-5vdc或4-20mA
供電電壓	15-28vdc
溫度范圍	0-50℃

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