國(guó)產(chǎn)質(zhì)量流量控制器的耐壓主要分為:10Bar、50Bar和100Bar。10Bar的流量控制器主要為差壓式(也稱節(jié)流式)流量計(jì)是基于流體流動(dòng)的節(jié)流原理,利用流體流經(jīng)節(jié)流裝置時(shí)產(chǎn)生的壓力差而實(shí)現(xiàn)流量測(cè)量的。在選型熱式氣體質(zhì)量流量控制器和流量計(jì)的時(shí)候,用戶常問關(guān)于壓力數(shù)值的問題。
國(guó)產(chǎn)質(zhì)量流量控制器耐壓100bar(產(chǎn)品在50MPa壓力下通過(guò)打壓測(cè)試),可測(cè)量腐蝕性氣體,結(jié)構(gòu)緊湊,重復(fù)性高,響應(yīng)時(shí)間快,性價(jià)比高,可廣泛用于設(shè)備配套。Z大流量可測(cè)到100SLPM,質(zhì)量流量控制器的流量可測(cè)到100SLPM。
國(guó)產(chǎn)質(zhì)量流量控制器可以測(cè)量和控制各種氣體的質(zhì)量流量和標(biāo)況流量,產(chǎn)品的主要優(yōu)點(diǎn)為無(wú)需溫壓補(bǔ)償,測(cè)量的準(zhǔn)確度高,響應(yīng)速度快。那壓力數(shù)值對(duì)MFC又有什么影響呢?50Bar和100Bar的流量控制器主要為熱式流量計(jì),熱式流量計(jì)采用熱擴(kuò)散原理,熱擴(kuò)散技術(shù)是一種在苛刻條件下性能優(yōu)良、可靠性高的技術(shù)。熱式流量計(jì)有兩個(gè)溫度傳感器被置于介質(zhì)中時(shí),其中一個(gè)傳感器被加熱到環(huán)境溫度以上的溫度,另一個(gè)溫度傳感器用于感應(yīng)介質(zhì)溫度。
耐壓是指熱式氣體質(zhì)量流量控制器能承受的最大壓力值是多少,簡(jiǎn)而言之是指在多大壓力范圍之內(nèi)使用不會(huì)損壞產(chǎn)品。工作壓差是指在使用時(shí),流量控制器的進(jìn)氣端和出氣端的壓力兩兩相減的數(shù)值差。
流量控制器在使用時(shí),根據(jù)流量的大小,需要保證的工作壓差范圍為:1-7Bar之間。本公司流量控制器出廠時(shí),一般按照默認(rèn)工作壓差標(biāo)定,如有特殊要求,可在訂貨時(shí)特殊說(shuō)明即可。熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)對(duì)工作壓差沒有特殊要求,用戶只需要在流量計(jì)能承受的最大耐壓范圍內(nèi)即可正常使用。