質(zhì)量流量控制器成為新一代新型儀表
質(zhì)量流量控制器不但具有質(zhì)量流量計的功能,更重要的是,質(zhì)量流量控制器能自動控制氣體流量,即用戶可根據(jù)需要進行流量設定,質(zhì)量流量控制器自動地將流量恒定在設定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化,也不會使其偏離設定值。簡單地說,質(zhì)量流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置,是一個可以手動設定或與計算機聯(lián)接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。
一般而言,僅對流量進行計量或監(jiān)測時,用質(zhì)量流量計;需要對流量進行控制時,用質(zhì)量流量控制器。某些測量場合,用二者皆可,但質(zhì)量流量控制器更好用。例如,后面講到的測量小孔直徑﹑閥門泄漏量﹑工件(如毛細管)流通量等。質(zhì)量流量控制器可以將流量測量值以標準電信號輸出。這樣很容易實現(xiàn)對流量的數(shù)字顯示﹑累積流量自動計量﹑數(shù)據(jù)自動記錄﹑計算機管理等。質(zhì)量流量控制器可以地控制氣體的給定量,這對很多工藝過程的流量控制﹑對于不同氣體的比例控制等特別有用。 對于多數(shù)流量測控系統(tǒng)而言,很難避免系統(tǒng)的壓力波動及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對于普通的流量計,壓力及溫度的波動將導致較大的誤差;對于質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器,則一般可以忽略不計。
質(zhì)量流量控制器可以將流量測量值以輸出標準電信號輸出。這樣很容易實現(xiàn)對流量的數(shù)字顯示、累積流量自動計量、數(shù)據(jù)自動記錄、計算機管理等。對質(zhì)量流量控制器而言,還可以實現(xiàn)流量的自動控制。質(zhì)量流量控制器能非常方便地與計算機連接, 進行自動控制。質(zhì)量流量控制器可以地控制氣體的給定量,這對很多工藝過程的流量控制、對于不同氣體的比例控制等特別有用。質(zhì)量流量控制器有很寬的工作壓力范圍,我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa; 質(zhì)量流量控制器可以適用于多種氣體介質(zhì)(包括一些腐蝕性氣體,如HCL);質(zhì)量流量控制器有很寬的流量范圍,我們的產(chǎn)品小流量范圍可達0~5 sccm,大流量范圍可達0~200 slm?,F(xiàn)如今質(zhì)量流量控制器已得到了越來越廣泛的應用,成為新一代新型儀表。